




真空設(shè)備檢漏
聽音法
氣體從小孔中噴出時,會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時與泄漏無關(guān)的聲音(例如電機的聲音)也會混雜進來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。但此時其它聲音也同時放大,多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡單、經(jīng)濟。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點,即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同,所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此,這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測法并用。
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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點,是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)新提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠為您服務(wù)。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出?;竟ぷ髟硎鞘褂脤iT開發(fā)的氫氣傳感器,它只對氫氣有響應(yīng)信號,而對其他氣體沒有響應(yīng),屬于唯1性檢漏性檢漏方法。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的
位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。然后將被檢工件內(nèi)的空氣放空,放空后被檢工件預(yù)抽真空,充注4%氫氣和96%氮氣至1。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。